走査型電子顕微鏡
EDS分析機能を搭載した走査電子顕微鏡(SEM)を設置。ミクロの表面状態を観察しながら、元素の有無や分布を迅速に分析できます。 ドライSDD検出器によるEDS分析機能をはじめ、10Pa〜100Paの低真空下での観察が可能な低真空モードを搭載し、多様な分析ニーズに対応できます。 事前に試料の写真を撮影し、ステージ上の試料の位置と連動させるステージナビゲーションシステムを搭載し、観察部位を正確に把握できます。
| 加速電圧 | 0.5kV 〜 20kV |
|---|---|
| 倍率 | 5 〜 300,000倍（画像サイズ：128mm × 96mm） |
| 最大試料寸法 | φ150mm |
| 画像モード | 二次電子像、REF像、組成像、凸凹像、立体像 |
| 測長機能 | 2点間測長、円測定、線幅測定、角度測定、面積測定、計数 |
| 分析機能（EDS） | スペクトル分析、定性・定量分析、水平ライン分析、多点線分析、元素マップ分析、プローブトラッキング |