FACILITY
走査型電子顕微鏡
EDS分析機能を搭載した走査電子顕微鏡(SEM)を設置。ミクロの表面状態を観察しながら、元素の有無や分布を迅速に分析できます。ドライSDD検出器によるEDS分析機能をはじめ、10Pa〜100Paの低真空下での観察が可能な低真空モードを搭載し、多様な分析ニーズに対応します。ステージナビゲーションシステムにより、観察部位を正確に把握できます。
最大倍率
300,000倍
加速電圧
20kV
装置仕様
Specifications- 加速電圧
- 0.5kV 〜 20kV
- 倍率
- 5 〜 300,000倍（画像サイズ：128mm × 96mm）
- 最大試料寸法
- φ150mm
- 画像モード
- 二次電子像、REF像、組成像、凸凹像、立体像
- 測長機能
- 2点間測長、円測定、線幅測定、角度測定、面積測定、計数
- 分析機能（EDS）
- スペクトル分析、定性・定量分析、水平ライン分析、多点線分析、元素マップ分析、プローブトラッキング
この試験機での試験をご検討中ですか？
試験条件・お見積もりのご相談は技術部までお気軽にお問い合わせください。